三軸伺服平台

- X：行程300mm、定位精度±0.015mm
- Y：行程300mm、定位精度±0.015mm
- Z：行程200mm、定位精度±0.005mm
- 行走速度：100 mm/sec.
- PC-BASED控制系統
- 系統架構可依不同應用需求客製化設計。